小型石英等離子清洗機(jī)安裝與操作說(shuō)明

小型石英等離子清洗機(jī)設(shè)備安裝與操作使用說(shuō)明如下：

5.1初始安裝時(shí),遵循下列步驟：

第一步： 連接好等離子清洗機(jī)與真空泵之間的真空管路,緊固好O型卡和鎖緊帽,做到連接處密封且不漏氣。

第二步： 接通供電電源和真空泵電源,在此之前檢查所有按鈕必須處于復(fù)位狀態(tài),同時(shí)檢查所供電源插座的L、N、E的接線是否與機(jī)箱后的AC220V輸入插頭相一致，以免發(fā)生危險(xiǎn)動(dòng)作。

第三步： 第一次開(kāi)機(jī),不做其它操作，直接打開(kāi)機(jī)體上紅色電源開(kāi)關(guān)、真空泵開(kāi)關(guān)，輕輕推關(guān)腔門，然后按綠色啟動(dòng)鍵抽真空，目的是去潮除濕，同時(shí)檢查是否有漏氣部位：聽(tīng)漏氣聲響；拉動(dòng)真空倉(cāng)門是否密封；觀察壓力表到達(dá)-100Kpa左右；若無(wú)上述狀況即為正常

第四步： A、打開(kāi)電源，先在顯示屏里設(shè)定清洗時(shí)間；

B、將托盤承載的產(chǎn)品放入反應(yīng)室內(nèi)；

C、輕推反應(yīng)腔門，按面板上綠色啟動(dòng)開(kāi)關(guān)，真空泵開(kāi)始工作。

D、壓力表真空值-101KPa左右，看到離子輝光放電現(xiàn)象，進(jìn)入處理狀態(tài)；同時(shí)可設(shè)定功率大小、反應(yīng)氣體注入量；（反應(yīng)氣體是根據(jù)工藝需求選配，不使用時(shí)鎖緊關(guān)閉，）

5.3 使用操作步驟

5.3.1 自動(dòng)狀態(tài)下運(yùn)行處理

（圖5.3.1主機(jī)界面）

（圖5.3.2功能畫(huà)面）

（圖5.3.3參數(shù)畫(huà)面）

1. 進(jìn)入“主機(jī)界面”（圖5.3.1主機(jī)界面），點(diǎn)擊“下一頁(yè)”進(jìn)入“功能畫(huà)面”（圖5.3.2功能畫(huà)面）選擇“參數(shù)頁(yè)面”（圖5.3.3參數(shù)畫(huà)面）修改清洗時(shí)間或清除清洗數(shù)據(jù)。

2. 點(diǎn)擊“下一頁(yè)”進(jìn)入“手動(dòng)頁(yè)面”將氧氣氬氣閥門設(shè)置為打開(kāi)狀態(tài)，返回主機(jī)界面。

3. 調(diào)節(jié)功率，功率調(diào)節(jié)范圍80%-100%，根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行調(diào)節(jié)。

4. 將被處理物放置真空腔內(nèi)，關(guān)好腔門，按下啟動(dòng)按鈕，開(kāi)始抽真空。

5. 待腔體產(chǎn)生輝光，根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求，手動(dòng)調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕添加輔助性氣體。

6. 到達(dá)處理時(shí)間后，平衡閥自動(dòng)復(fù)原，3秒左右恢復(fù)常壓，無(wú)進(jìn)氣聲響時(shí)，腔門自動(dòng)打開(kāi)。

7. 打開(kāi)腔門，取出被處理物，一個(gè)處理過(guò)程結(jié)束。

____以上各命令都可在鍵下終止，回到復(fù)位狀態(tài)。所有數(shù)字量都可自由調(diào)整，確認(rèn)鍵后記憶保存，斷電不丟。

5.4手動(dòng)狀態(tài)下運(yùn)行處理

（5.4.1手動(dòng)狀態(tài)下操作頁(yè)面）

1. 調(diào)節(jié)功率，功率調(diào)節(jié)范圍80%-100%，根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行調(diào)節(jié)。

2. 將被處理物體放置到倉(cāng)內(nèi)，關(guān)好倉(cāng)門，按下啟動(dòng)鈕，開(kāi)始抽真空。

3. 真空度達(dá)到要求時(shí)，按下射頻電源鈕（打開(kāi)狀態(tài)為：黃色燈亮“開(kāi)”），加入射頻高壓，處理過(guò)程開(kāi)始。

4. 待腔體產(chǎn)生輝光，根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求，打開(kāi)氧氣氬氣閥門開(kāi)關(guān)（打開(kāi)狀態(tài)為：黃色燈亮“開(kāi)”），手動(dòng)調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕添加輔助性氣體。

5. 到達(dá)處理時(shí)間后，復(fù)原平衡閥鈕，3秒左右恢復(fù)常壓，無(wú)進(jìn)氣聲響時(shí)，腔門自動(dòng)打開(kāi)。

6. 打開(kāi)腔門，取出被處理物，一個(gè)處理過(guò)程結(jié)束。

在手動(dòng)狀態(tài)下，可設(shè)定氧氣閥、氬氣閥、真空泵、射頻電源、平衡閥的開(kāi)關(guān)選擇，進(jìn)行數(shù)據(jù)工作。

5.5氣體使用注意事項(xiàng)：

①在觸摸屏的手動(dòng)畫(huà)面打開(kāi)氣閥；

②腔內(nèi)激發(fā)輝光后，再扭開(kāi)流量計(jì)注入；

③兩路氣體，機(jī)體前面板上的流量計(jì)與機(jī)體背面的氣孔口為對(duì)應(yīng)一致接入工作；